随着半导体、光伏、玻璃制造等行业的快速发展，含硅废水的排放量逐年增加。由于硅元素在废水中以胶体或溶解态形式存在，具有较强的稳定性，直接排放不仅浪费水资源，还可能对环境造成潜在危害。因此，开发高效、经济的含硅废水处理与回用工艺显得尤为重要。本文依斯倍环保将介绍含硅废水处理的相关技术。

一、含硅废水的来源与特性

1. 来源

含硅废水主要来源于以下行业：

半导体制造：晶圆研磨、抛光过程中使用大量去离子水和二氧化硅（SiO₂）作为研磨介质。

光伏产业：多晶硅切割、清洗环节产生高浓度硅粉废水。

玻璃工业：玻璃蚀刻、研磨工序中使用氢氟酸与硅反应生成氟硅酸盐类物质。

金属表面处理：部分清洗剂含有硅基添加剂。

2. 废水特性

高浊度：含悬浮硅颗粒，粒径小，沉降性能差。

高化学稳定性：硅酸盐易形成胶体体系，难以自然沉降。

pH偏碱性或酸性：根据生产工艺不同，pH值变化较大。

COD较低但SS较高：有机物含量低，但固体悬浮物含量高。

二、、典型处理工艺流程

含硅废水处理一般包括预处理、深度处理及回用三个阶段：

1. 预处理（物理化学处理）

（1）调节池

均质均量，稳定进水水质。

（2）pH调节

加入硫酸或盐酸调节pH至适宜范围（通常为6~8），促进硅酸聚合沉淀。

（3）混凝沉淀

使用PAC（聚合氯化铝）、PAM（聚丙烯酰胺）等药剂，破坏硅胶体稳定性，形成絮体沉淀。

可辅以FeCl₃、Al₂(SO₄)₃增强除硅效果。

（4）气浮/过滤

对于细小悬浮物，采用溶气气浮（DAF）或砂滤、活性炭过滤进一步去除残留硅颗粒。

2. 深度处理（膜法+高级氧化）

（1）超滤（UF）

去除残余胶体、细菌及大分子有机物，保障后续膜系统安全运行。

（2）反渗透（RO）

高效脱盐、去除溶解性硅及其他无机离子，出水可达工业回用水标准。

需注意控制回收率，防止硅结垢。

（3）高级氧化（AOPs）

如臭氧氧化、芬顿氧化等，用于降解微量有机污染物，提升出水品质。

3. 回用与资源化

生产回用：处理后清水可用于冷却、清洗等非关键工艺环节。

硅资源回收：通过结晶、蒸发等方式回收硅酸盐或制备白炭黑等产品。

浓水处理：RO浓水可经MVR蒸发、电渗析等手段进一步减量化、稳定化处理。

含硅废水处理与回用是实现绿色制造、节水减排的重要途径。通过合理的预处理、膜分离与资源化技术组合，不仅可以有效去除硅污染物，还能实现水资源的循环利用。未来应加强技术创新与工程实践相结合，推动该领域向更高效、更经济、更环保的方向发展。

苏州依斯倍环保装备科技有限公司是一家来自荷兰外商投资的环保企业于2011年在苏州工业园区正式成立，致力于为工业废水处理提供完整的循环利用及零排放解决方案，业务板块涵盖EPC工程、提标改造、污水站运维等。依斯倍一直专注于工业废水循环利用及零排放处理技术的研发，为客户降低成本，努力构建绿色生态循环系统，以“减量化”、“资源化”和“极小化”的“3R”原则为循环系统实施的核心。依斯倍工业废水循环利用及零排放处理系统已广泛应用于表面处理电镀、汽车制造、涂装生产线、新能源新材料、电子半导体、航空船舶、金属加工等行业。