半导体制造过程中产生的有机废水含有各种有机化合物、重金属离子等有害物质，对环境和人体健康构成威胁。因此，开发高效的废水处理回用工艺对于减少环境污染、保护生态环境至关重要。以下是针对半导体有机废水处理回用工艺的详细介绍。

工艺流程：

1.初步处理： 半导体有机废水首先经过初步处理，包括调节PH值、沉淀、过滤等工序，以去除大部分悬浮固体、调整废水的酸碱度，并去除部分溶解有机物。

2.生物处理： 经过初步处理后的废水进入生物反应器，利用特定菌种降解废水中的有机物，通过微生物的作用将有机物转化为可分解的无害物质，从而减少COD（化学需氧量）和BOD（生化需氧量）等有机物含量。

3.高级氧化处理： 对生物处理后的废水进行高级氧化处理，采用臭氧氧化、紫外光催化氧化等技术，以进一步降解难降解的有机物，提高水质的净化程度。

4.膜分离： 废水经过高级氧化处理后，采用膜分离技术进行微观级别的过滤，去除残余的微小颗粒、胶体物质和溶解有机物，提高水质的纯净度。这是半导体有机废水处理常用的方法之一。

5.净化处理： 最后对处理后的水进行二次过滤、消毒等工艺，确保水质符合国家排放标准，可用于生产再利用或者环境排放。

关键技术：

1.生物降解技术： 选择适应性强、降解效率高的微生物菌种，提高有机物降解效率，降低处理成本。

2.高级氧化技术： 运用臭氧氧化、紫外光催化氧化等技术，能够有效地降解难降解的有机物，提高废水处理效率。

3.膜分离技术： 采用微滤膜、超滤膜等膜分离技术，对废水进行微观级别的过滤，去除微小颗粒和胶体物质，提高水质。

4.循环利用技术： 对处理后的水进行循环利用，用于半导体制造中的冷却水或清洗水，降低水资源消耗。

半导体有机废水处理回用工艺在废水治理和资源化利用方面具有重要意义，通过合理的工艺设计和关键技术应用，可以有效净化废水、保护环境、实现资源循环利用，促进半导体产业的可持续发展。